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晶圓檢測(cè)接觸角測(cè)量?jī)x

更新時(shí)間:2020-12-31點(diǎn)擊次數(shù):941

晶圓接觸角測(cè)量?jī)x現(xiàn)有測(cè)試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱(chēng)重法.后者通常稱(chēng)為潤(rùn)濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應(yīng)用廣泛,測(cè)值直接與準(zhǔn)確的還是外形圖像分析方法,接觸角測(cè)量?jī)x采用外形圖像分析(Shape image analysis)

 一·概述(Summary)

接觸角(contact angle)是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處所作的氣-液界面的切線,此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ,是潤(rùn)濕程度的量度;接觸角現(xiàn)有測(cè)試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱(chēng)重法.后者通常稱(chēng)為潤(rùn)濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應(yīng)用,測(cè)值直接與準(zhǔn)確的還是外形圖像分析方法,接觸角測(cè)量?jī)x采用外形圖像分析(Shape image analysis)方法測(cè)量樣品表面親疏水性、潤(rùn)濕性能、表面張力、表面能等數(shù)據(jù)的設(shè)備

 

晶圓接觸角測(cè)量?jī)x應(yīng)用:

1、液體在固體表面的接觸角和潤(rùn)濕性:包括靜態(tài)接觸角,動(dòng)態(tài)接觸角(前進(jìn)/后退接觸角),接觸角滯后性等;

2、液滴在固體表面的起始滑動(dòng)角(或滾動(dòng)角),滑動(dòng)速度;(擴(kuò)張功能)

3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤(rùn)濕行為;

4、固體表面自由能,及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻(xiàn);

5、液體在固體表面的粘結(jié)力、滯留力等;

6、固體表面在經(jīng)過(guò)清洗、處理后的結(jié)果(效果)評(píng)估:如潔凈度,均勻性,和表面能改變幅度等;

7、液/流-體系的表面/界面張力:包括靜、動(dòng)態(tài)表/界面張力的測(cè)量;

8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場(chǎng)、在線、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè);

9、表面活性物質(zhì)(如表面活性劑)臨界膠團(tuán)溶度(CMC)的測(cè)量:包括全自動(dòng)CMC測(cè)量,全自動(dòng)有關(guān)配方的篩選和優(yōu)化;

10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究;

11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性:如乳狀液/泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過(guò)程的測(cè)量和分析等。

12、全自動(dòng)檢測(cè)整體解決方案,可搭配至流水線上使用,提高檢測(cè)效率;

二·設(shè)備原理解析(Principle analysis)

 

     

    我司設(shè)備采用CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī),配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng),搭配三維樣品臺(tái),可進(jìn)行工作臺(tái)上下、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動(dòng)。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺(tái),能適應(yīng)在不同用戶(hù)材料厚度加大的場(chǎng)合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié),擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能,測(cè)試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下,能讓用戶(hù)對(duì)材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計(jì)美觀大方、操作簡(jiǎn)單、符合用戶(hù)所需

    三·技術(shù)規(guī)格(Specifications)

    (一)晶圓接觸角測(cè)量?jī)x觸角測(cè)量?jī)x主機(jī):

    (1)主機(jī)使用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計(jì)理念,自主研發(fā)的集成芯片電路控制,保證儀器以狀態(tài)運(yùn)行;

    (2)成像部分使用高性能工業(yè)機(jī)芯及無(wú)失真遠(yuǎn)心鏡頭確保的成像效果。

    (3)工業(yè)級(jí)可調(diào)LED單波長(zhǎng)冷光源系統(tǒng),成像清晰

    (4)自動(dòng)位移平臺(tái),實(shí)現(xiàn)Y、Z自動(dòng)定位測(cè)量,定點(diǎn)地位準(zhǔn)確,測(cè)量效率高

    技術(shù)規(guī)格:

    主機(jī)外形尺寸:1200mm(長(zhǎng))*600mm(寬)* 670mm(高)

    主機(jī)凈重:55KG

    工作臺(tái)面尺寸:420mm*420mm

    工作臺(tái)移動(dòng):

    前后移動(dòng) 自動(dòng),行程160mm,精度0.01mm

    上下移動(dòng) 手動(dòng),行程20mm,精度0.01mm

    進(jìn)樣器移動(dòng):自動(dòng)上下60mm(自動(dòng)); 左右30mm

    工業(yè)鏡頭移動(dòng):前后30mm(微調(diào)3mm)

    工業(yè)鏡頭:0.7X *-4.5X高清遠(yuǎn)心連續(xù)變倍變焦顯微鏡

    CCD:SONY*高速工業(yè)級(jí)芯片;60幀/S

    鏡頭角度可調(diào)試:仰視、平視、俯視多視角觀察

    光源:LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級(jí)冷光源;使用壽命達(dá)貳萬(wàn)伍仟小時(shí)以上

    電源及功率:220V / 60HZ

    (二)分析軟件:

     

    (1)接觸角測(cè)量分析軟件自動(dòng)橢圓擬合法(一鍵自動(dòng)擬合,不存在人工誤差)包括:

    圓法擬合(適用于低角度接觸角測(cè)量)

    橢圓/斜橢圓擬合法(適用于高角度接觸角擬合)(應(yīng)用于120°以上高角度接觸角測(cè)量)

    微分橢圓法/微分圓法(應(yīng)用于不規(guī)則液滴形態(tài)接觸角的擬合)

    動(dòng)態(tài)接觸角擬合包括:
    潤(rùn)濕性能測(cè)試(應(yīng)用于慢性吸收材料、潤(rùn)濕材料的表面吸收或潤(rùn)濕性能測(cè)試,批量處理)

    視頻擬合(應(yīng)用于吸收或潤(rùn)濕速度較快的樣品的吸收或潤(rùn)濕性能測(cè)試,視頻動(dòng)態(tài)處理)

    動(dòng)態(tài)表面/界面張力測(cè)量(測(cè)量液體整個(gè)過(guò)程的張力變化趨勢(shì),準(zhǔn)確的判定其真實(shí)的表面/界面張力)
    表面能量計(jì)算(使用多種表面能計(jì)算方式測(cè)量對(duì)固體表面能量進(jìn)行分析)
    粘附功
    數(shù)據(jù)報(bào)告(支持WORD、Excel類(lèi)型數(shù)據(jù)報(bào)告,自動(dòng)生成晶圓模式數(shù)據(jù)譜圖)
    規(guī)格:

    接觸角測(cè)量范圍:0-180°
    接觸角測(cè)量精度:±0.1°
    表界面張力測(cè)量范圍:0-2000mN/m;測(cè)量精度:0.01 mN/m

    高精度自動(dòng)滴液系統(tǒng):

    軟件高精度滴液系統(tǒng);滴液精度:0.0 1μl
    一鍵式多點(diǎn)測(cè)量(可多次循環(huán)):自動(dòng)進(jìn)樣→自動(dòng)接液→軟件自動(dòng)完成測(cè)量→自動(dòng)換下一個(gè)點(diǎn)位
    可針對(duì)不同樣品設(shè)置測(cè)量方案并可保存,方便下次再次測(cè)量同一類(lèi)樣品時(shí)直接調(diào)取測(cè)量

       

      四·產(chǎn)品特點(diǎn)(Product features)

      專(zhuān)業(yè)級(jí)的高精度注射系統(tǒng),全電腦控制,液滴控制精度可達(dá)0.01μl
      Y軸自動(dòng)位移,平臺(tái)自動(dòng)旋轉(zhuǎn),可一次測(cè)量多個(gè)已設(shè)置點(diǎn)并給出對(duì)應(yīng)測(cè)量數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化測(cè)量
      工業(yè)級(jí)可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)(壽命25000H以上),清晰的成像,同時(shí)避免額外熱度所導(dǎo)致的小液滴揮發(fā)
      采用高性能工業(yè)機(jī)芯,無(wú)失真遠(yuǎn)心鏡頭,確保的成像效果。
      采用USB2.0標(biāo)準(zhǔn)接口,數(shù)據(jù)傳輸速度快,兼容性高
      高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu),模塊化設(shè)計(jì)理念,可配置各種常用測(cè)量附件
      集成芯片電路控制,保證儀器以狀態(tài)運(yùn)行
      多種輔助模塊選取,滿(mǎn)足更多的外部測(cè)試條件
      光學(xué)系統(tǒng)頂式法,適合超低角度測(cè)量和疏水材料測(cè)量
      多種接觸角分析方法,更適合多種材料接觸角測(cè)量
      能夠自動(dòng)識(shí)別基準(zhǔn)線及輪廓線,無(wú)人為誤差
      高速全自動(dòng)操作測(cè)量,且直觀讀取數(shù)據(jù)結(jié)果,有圖有真相,有擬合痕跡,測(cè)流量結(jié)果是否準(zhǔn)確一目了然
      表面接觸角分析模塊,更簡(jiǎn)捷的操作,更準(zhǔn)確的結(jié)果
      視頻快速測(cè)試數(shù)據(jù),可連續(xù)性進(jìn)測(cè)試接觸角形態(tài)變化
      一鍵式軟件操作: 【按空格鍵】--打開(kāi)攝像頭; 【測(cè)試】--準(zhǔn)確的控制滴液-自動(dòng)接液-高精度的進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量-測(cè)量完畢后自動(dòng)更換測(cè)量位置直至整個(gè)原設(shè)置好的測(cè)量方案運(yùn)行結(jié)束

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