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3D光學輪廓測量儀使用Sensofar技術開發(fā)的neox光學輪廓儀,其共聚焦部分的主要優(yōu)點是有著*發(fā)光效率的照明硬件和高對比度算法。這些特點使系統(tǒng)成為測量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設備。高品質干涉光學系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關鍵。這項技術對于測量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術的組合為neox輪廓儀提供了無限寬廣的應用領域。
3D光學輪廓顯微鏡使用光學輪廓儀,集成了共聚焦計數(shù)和干涉測量技術,并具有薄膜測量能力,該系統(tǒng)可以用于標準的明場彩色顯微成像,共焦成像,三維共焦建模,PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。
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